AEORHC 和 MKS 兩種品牌比例電磁閥的比較
美國(guó)MKS 品牌比例電磁閥主要系列型號(hào)如下：
（1）148J全金屬流量控制閥：金屬密封，流量范圍0~20L/mim。
（2）154B大流量控制閥：橡膠密封，流量范圍20~200L/mim。
（3）248D通用型流量控制閥：橡膠密封，流量范圍0~50L/mim。
AEORHC 品牌主要有三種系列比例閥：
（1）8000系列比例閥：氟橡膠或全氟密封，流量范圍 0~18 L/min (0.1Mpa)
(2) 6000系列比例閥：氟橡膠或全氟密封，流量范圍 0-56 L/min (0.1Mpa)
(3) 9000 系列比例閥：氟橡膠或全氟密封，流量范圍 0-200 L/min (0.1Mpa)
AEORHC 和 MKS 兩種比例閥結(jié)構(gòu)和工作原理相同，
主要用于氣體流量和壓力控制。
MKS 產(chǎn)品在半導(dǎo)體、碳材料、太陽(yáng)能設(shè)備等行業(yè)應(yīng)用廣泛，
比如氣相沉積設(shè)備（MPCVD),控制氣體真空壓力；
AEORHC 產(chǎn)品在相同行業(yè)被大批量采用，
AEORHC 產(chǎn)品技術(shù)來(lái)自于美國(guó)和日本，
關(guān)鍵原材料從國(guó)外進(jìn)口，
在原有工藝的基礎(chǔ)上加以改進(jìn)，
結(jié)構(gòu)緊湊，精度、重復(fù)性和穩(wěn)定性好，
全氟密封可以用在有腐蝕性氣體的場(chǎng)合，
品種多，供貨周期短，性價(jià)比高，
在高要求的應(yīng)用領(lǐng)域正逐步取代MKS的產(chǎn)品。
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